真空泵油必须要有极低的蒸气压。这是真空泵油的最重要的性能，由于要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。
真空泵油要有合适的粘度和良好的粘温特性。泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。
真空泵油要有良好的热氧化安定性。真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求泵油具有良好的热氧化安定性。
真空泵油要有良好的抗腐蚀性和抗乳化性。真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件;吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。
真空泵油要有较高的闪点。主要要求泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。
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