为什么半导体组件工作需要在无尘车间进行？按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响，所以在光学构造产品的生产上，承接半导体净化车间无尘是必然的要求。每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在个以下，就达到了国际无尘标准的。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。
半导体净化车间具体的洁净措施包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等，其中对无尘车间洁净等级起关键决定作用的则是空气洁净措施。
半导体净化车间设计范围包括：装修方案（围护、地面防水保温处理），暖通方案（空调设备、风管、水管等），特气供应方案（特气柜含保险控制、房间气体监测、EP级管道及BA级管道、供气管路尾气处理），压缩空气方案，废气处理方案（仪器设备POU处理、房间排风废气处理），电气方案（空调设备动力配电等），弱电工程，集成控制智能平台，纯水方案（冷却水、去离子水、超纯水、水管等），废水处理。
结构围护工程
墙板及吊顶：本工程隔墙采用企口型机制玻镁岩棉夹芯板0.，玻镁岩棉彩钢板符合洁净厂房二级消防要求，玻镁岩棉彩钢夹芯板具有℃的耐火性能，耐火等级达到A级。岩棉密度：≥kg/m3；导热系数：≤0.w/m.k；燃烧性能：A级（不燃）。耐火极限为30~分钟。广泛应用于食品、电子、医药、饮料、生物研究等行业。
地板：车间内采用防静电型PVC地板，其中千级和百级车间采用防静电型架高钢板，其它为普通型PVC地板。PVC地板是当今世界上非常流行的一种新型轻体地面装饰材料，也称为“轻体地材”使用非常广泛，比如家庭、医院、学校、办公楼、工厂、公共场所、超市、商业等各种场所。
暖通工程
设备：空调制冷负荷：经统计计算，总冷负荷约KW。采用恒温恒湿洁净空调，夏季采用磁悬浮水冷机组，冬季采用厂区锅炉热水供热。
风管：风管采用共板法兰风管。
水管：空调水管采用无缝钢管。水泵采用星-三角降压启动。
特种气体工程
工艺气体种类多，纯度高，并且易燃易爆有毒。安全问题突出，为保证系统的安全和稳定可靠，建议采用进口成熟产品。
因为MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质，并且要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异质材料，因此在MOCVD系统的设计思想上，通常要考虑系统密封性要好，流量、温度控制要精确，组分变换要迅速，系统要紧凑等。核心工作是气体输运系统和尾气处理系统。
空压气体工程
螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成：空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。
废气工程
由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。